光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列

描述：光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列
更小的測量盲區
更高精度的尺寸及位移復現能力
高靈敏度光學(xué)非接觸測量
多膜層/多層玻璃測厚能力
同軸式測量配置，避免了激光三角傳感器的角度限制，縮小測量盲區，
適合復雜細微結構（如深溝槽結構等）的測量。

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產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列

更小的測量盲區

更高精度的尺寸及位移復現能力

高靈敏度光學(xué)非接觸測量

多膜層/多層玻璃測厚能力

同軸式測量配置，避免了激光三角傳感器的角度限制，縮小測量盲區，

適合復雜細微結構（如深溝槽結構等）的測量。

針對光譜共焦位移傳感器研制開(kāi)發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片，能夠實(shí)現最小10微米的成像光斑，同時(shí)提高測量線(xiàn)性精度。

針對光譜共焦位移傳感器定制開(kāi)發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源，都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度，能夠對表面返回的極弱的光強（如薄膜等透明物體）完成測量。

光譜共焦傳感器適合各種材料的測量，并能確保對不同材料的測量性能，同時(shí)支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。

抗干擾模塊化探頭

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測量現場(chǎng)的探頭是純光學(xué)器件，通過(guò)光纖與控制器連接

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